MEMS是micro electro mechanical system微電子機(jī)械系統(tǒng)的縮寫(xiě)，這種微電子制造技術(shù)適用于任何傳感器的制造。這些技術(shù)，通常在硅晶體上蝕刻，創(chuàng)造微觀尺寸的機(jī)械傳感結(jié)構(gòu)。當(dāng)與微電路耦合時(shí)，MEMS傳感器可以用于測(cè)量例如加速度之類(lèi)的物理參數(shù)。不同于ICP®傳感器，MEMS傳感器測(cè)量頻率低至0Hz(靜態(tài)或者DC加速度)。PCB®制造兩種類(lèi)型的MEMS加速度計(jì)，可變電容式和壓阻式。可變電容(VC)MEMS加速度計(jì)主要是低幅值，高靈敏度設(shè)備，用于結(jié)構(gòu)監(jiān)測(cè)和恒定加速度的測(cè)量。壓阻(PR)MEMS加速度計(jì)主要是高量程，低靈敏度設(shè)備，用于沖擊和爆炸應(yīng)用。

        PCB®的VC MEMS加速度計(jì)有型號(hào)3711E，3713E和3741E系列。PCB®的壓阻MEMS加速度計(jì)有型號(hào)3501,3503,3641,3651以及3991。